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為什么選擇精密高溫烤箱來(lái)對(duì)電子元器件進(jìn)行測(cè)試？

在半導(dǎo)體晶園生產(chǎn)制造過(guò)程中晶圓通常需要放置在烤箱中進(jìn)行烘烤操作。一是為了在晶圓打上墨印后烤干墨印，二是為了高溫性能測(cè)試，即測(cè)試晶圓產(chǎn)品在特定高溫狀態(tài)下功能是否正常。那么，用于電子半導(dǎo)體元件固化，要選擇什么樣的烘箱更合適呢?

精密高溫烤箱可執(zhí)行晶園級(jí)預(yù)燒和磁性退火等前道半導(dǎo)體功能，以及組裝晶圓級(jí)包封功能（例如黏晶固化、穩(wěn)定性和預(yù)燒測(cè)試以及熱沖擊），以滿足其退火、干燥及熱分解需求，還滿足在大規(guī)模半導(dǎo)體封裝和組裝生產(chǎn)中對(duì)潔凈工藝、低氧化、粘合劑和聚合物的高效固化等要求。高溫烘箱具備以下特點(diǎn):

1、高性能的絕緣結(jié)構(gòu)。從里到外有內(nèi)腔、內(nèi)殼超細(xì)玻璃纖維、空氣夾層，內(nèi)膽熱量損失少。內(nèi)膽外箱及門膽機(jī)構(gòu)獨(dú)特，極大減少了內(nèi)腔熱量的外傳。

2、置于箱體背部的電加熱器熱量通過(guò)側(cè)面風(fēng)道向前排出，經(jīng)過(guò)干燥物后再被背部的高性能專用風(fēng)機(jī)吸入，形成合理的風(fēng)道，能使熱空氣充分對(duì)流，使箱內(nèi)溫度更大限度達(dá)到均勻。

3、配置自動(dòng)充氮?dú)庋b置，與自動(dòng)開(kāi)關(guān)風(fēng)門進(jìn)行充氮烘烤;

4、全新開(kāi)發(fā)觸摸屏操作系統(tǒng)，帶高精度PID主控儀，控溫精度為±0.1℃，自動(dòng)恒溫?？梢员４媾浞剑?nbsp;查看溫度曲線，導(dǎo)出升溫?cái)?shù)據(jù)等;

5.根據(jù)使用要求，可以接受定制。

溫控系統(tǒng)

1、溫度控制為PID數(shù)顯儀表（臺(tái)灣萱榮程序表），8段式控溫,可自動(dòng)演算，PV/SV同時(shí)顯示，按鍵設(shè)定，精密高溫烤箱可設(shè)定常溫到最高溫度之間的任意溫度值；

2、計(jì)時(shí)器1秒－999時(shí)（可選擇設(shè)定小時(shí)、分鐘、秒）

溫到計(jì)時(shí)，時(shí)間至切斷加熱電流 (報(bào)警裝置)

3、感溫入線（K）型；

4、輸出為3-32V；

5、電流控制器為SSR固態(tài)繼電器；

6、發(fā)熱材質(zhì)為：耐高溫加熱管；

7、RT－100℃約12分鐘，空載下；

8、溫度范圍常溫～200℃.常用溫度200度以下；

三、氮化裝置

1、調(diào)壓閥：控制氮?dú)鈮毫Γ?a href="http://modelisto.cn/cp_x/194.html" target="_blank" title="高溫烤箱">高溫烤箱正常使用下氮?dú)鈮毫φ{(diào)為3公斤左右；

2、流量計(jì)：控制氮?dú)膺M(jìn)入箱內(nèi)的大小，量程為2L/min-10Lmin；

3、氮?dú)夤艿肋M(jìn)入到箱內(nèi)正后面，外配2米長(zhǎng)10mm氮?dú)廛浌埽?/p>

4、氮?dú)庑栀F公司提供。

四、精度

1、控制精度±1℃；                            

2、顯示解析1℃；

3、箱內(nèi)溫度分布均勻度±3℃。

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